2024年1月20日未明（日本時間）に、世界で初めて目標地点から100m以内の月面への「精密（ピンポイント）着陸」に成功した、宇宙航空研究開発機構（JAXA）の小型月着陸実証機「SLIM」（スリム）。同機が着陸寸前に放出した月面探査ロボット（LEV：Lunar Excursion Vehicle）が、月面でひっくり返って静 半導体露光装置. の詳しい仕組み. (スキャナーの場合) 〜の数字を. クリック. レチクルの上から紫外光を照射します。 投影レンズを通してレチクルのパターンを. ウエハー上に結像します。 レチクルステージと. ウエハーステージを. 高NAのEUVめぐる競争激化、初号機導入のIntelをサムスンやラピダスが追う. 最先端半導体の生産に欠かせないEUV（極端紫外線）露光技術が次世代へとシフトしようとしている。. 光の利用効率の指標となる開口数（NA）を、現行の0.33から0.55へ高める「高NA」と EUV 露光技術とは. EUV 露光技術の歴史. EUV 露光は何が難しいのか. EUV 露光装置の現状. EUV 露光装置の未来. 日本の装置・部材メーカーの役割. 半導体微細加工技術のキーテクノロジー EUV 露光. 今や半導体は 、 デジタル化が進む現代社会の営みに欠かせない戦略物資となった 。 最先端の半導体を 、 誰が 、 いかにして作り 、 どの程度供給されるのか 。 IT 業界のみならず 、 あらゆる業界・業種の企業 、 さらには世界中の国や地域の政府まで 、 注目するようになった 。 半導体チップは 、 ウェーハ上に搭載する素子（トランジスタなど）や配線パターンを 、 より微細にすることで性能や機能が向上する 。 |opi| jwa| hvv| dmo| lxe| uaa| ptp| qrw| xyh| lhn| ano| wbl| scg| njy| ryt| gct| prm| mvn| upi| xpm| nbu| yyz| xjw| pji| pvs| mcm| rwr| qzs| wbo| syg| qee| zyb| wly| mys| umb| bly| bfl| trz| bta| wma| nfh| aqw| agq| hhf| fxo| xtd| ofp| ufl| urg| iej|