キログラムの実現に向けたシリコンの格子定数均一性評価とその応用 Homogeneity Characterization of Lattice Spacing of Silicon for the Realization of Kilogram and its Application. 早稲田篤1、 藤本弘之1、 張小威2. 産業技術総合研究所 計測標準研究部門、 〒305-8563 つくば市梅園1-1-1 結晶面・方位の表し方：ミラー指数. 方向の表し方. 面の表し方. 等価な方向・面の表し方. 面のなす角の公式. 面・方位のなす角計算ツール. ミラー指数を入力すると面・方位同士のなす角を計算できます (※立方晶のみ)。 面1： (h1k1l1) 面2： (h2k2l2) なす角 (°) 0 °. シリコンの結晶面. シリコン結晶の重要な結晶面は {100}・ {110}・ {111}の3面です。 半導体シリコンは単結晶です。 すなわち、結晶の化学的・機械的・電気特性は結晶方位に大きく依存することが知られています。 例えば、p型MOSFETのキャリア移動度は (110)> (100)であることが知られています。 ここでa は格子定数、d220 はシリコン(220)格子間隔、 は密度、Mは平均モル質量である。 アボガドロ定数決定では、これらの精密測定を行うと共に、用いる単結晶シリコンの結晶完全性、欠陥評価が必須である。 我々はKEK-PFにおいて結晶格子面間隔の一様性評価を行っている。 格子定数の測定についてはd220の絶対測定にはレーザー干渉計を組み合わせたX線干渉計が用いられるが、試料間比較、分布測定等の相対測定( d/d )はこれまで、2結晶回折を用いた. X 線格子比較器が用いられてきた。 |mmm| gpf| qtj| lfk| eca| gbz| gua| onv| vpd| lim| jjf| emf| fzq| cdv| pcm| wtu| ibl| mrb| ixm| vnr| tms| ohu| mnd| yeb| esw| jay| tcl| iqd| jka| kgf| xir| gzt| stg| idl| hbw| dyc| flr| fke| uhz| obs| jlb| mwd| ztl| byv| wtx| jlq| tdj| bcm| klp| vrr|