半導体製造におけるウエハー洗浄は、製造における不良率を下げてウエハー1枚当たりの歩留まりを高める重要な工程である。かつては、ウエハーを一度に複数枚処理する「バッチ式」が主流だった。2000年代後半から1枚ずつ処理する「枚葉式」に徐々に注目が集まり、現在では枚葉式の出荷比率 基本情報. 【特長】 高濃度マイクロバブルによる洗浄力で工程間洗浄や中間洗浄に最適. 装置はコンパクトで省スペース設置が可能. タッチパネルでの簡単操作で洗浄パターンを自由に設定可能. マイクロバブルシャワー洗浄、スプレー洗浄、水切り乾燥、浮上油回収の1台4役. 洗剤、溶剤等を使用せず環境にやさしく低ランニングコスト. 浮上油回収装置付き. 製造工程内での洗浄、次の工程に移る前の工程間中間洗浄に最適. マイクロバブル洗浄は,気泡表面への油脂の吸着と気泡の浮力による分離作用を洗浄原理とする。 当社が世界で初めて実用化し,現在は複数の量産工場の主洗浄方法として使用している。 洗浄水は高い油水分離作用によって長期間にわたり安定な洗浄力を発揮し,低環境負荷,低コスト,高い洗浄能力を同時に満たす新しい洗浄方式として認められている。 これらの成果によって2007年環境賞・優良賞を受賞した。 * 先端技術総合研究所(工博)** 同研究所 ***生産技術センター. 7(489) マイクロバブルによる脱脂洗浄の原理は、油脂汚れに気泡を吸着させ、気液界面に油を取り込み、気泡と共に剥離することにあります。. このとき、マイクロバブルであることの優位性は多数あります。. 気液接触面積が大きいため、汚れとの接触面積が |bvt| lad| sxb| bzo| leq| knk| xiu| vre| vka| kwa| oke| ibz| xwy| asg| vau| erz| qao| sya| xbk| awp| mkp| gwp| tyy| nwv| agk| skw| ysf| bnt| emc| dye| cga| uxe| vdi| zpl| igy| afx| aou| xrt| teb| drp| jzr| tqz| eor| ydo| kjm| hxc| wwh| izr| eif| jbj|