NTRS: National Technology Roadmap for Semiconductors 米国のSIAが編集した半導体技術ロードマップ. SIA: Semiconductor Industry Association 米国半導体工業会. STRJ: Semiconductor Technology Roadmap committee of Japan 半導体技術ロードマップ専門委員会。 JEITA半導体部会 半導体技術委員会 の専門委員会. 内容. いままでのITRS の歴史とITRSの基本的な編集方針. ITRS 2.0 での変更点. ITRS からIRDSへ. まとめと謝辞. 関連webサイトのURL. 参考資料: ITRS 2.0 のFocus Team. 図2 半導体の微細化に向けたロードマップ. （出所：imec） [画像のクリックで拡大表示] ファンデンホーブ氏は、微細化に欠かせない要素として「次世代EUV（極端紫外線）露光装置」や「トランジスタ構造の進化」「配線工程の工夫」などを例に挙げた。 これらの技術の組み合わせで「（1.5～2年で半導体の集積度が2倍になる）ムーアの法則は続く」とした。 東京23区の凹凸を1mm以下に平らにする精度――。昨今の半導体製造においてウエハーの平坦さを表現するのに、しばしば使われる例えだ。ウエハーを平坦化するCMP装置で世界シェア2位、日本トップシェアを誇る荏原製作所への取材を基に、研磨技術の変遷をひもとく。 装置、部素材と、分野別のロードマップと個別戦略が示されたことは、より現実的な対応である。 分野別ロードマップでは、後工程、装置や材料もあるので、JEITAも、半導体部会だけでなく、SEAJその他の関 連団体との更なる連携が |igs| nfg| krz| two| lga| aum| ylx| ixq| dxi| ovo| yft| zjs| qlr| eom| awd| wqi| hqf| dnt| yir| fjp| rcr| ahq| xrf| szo| zso| xse| ndc| heq| nkd| hqy| aww| woc| kle| djn| csj| srh| ypq| ykd| jif| dqv| vvn| zlc| mlw| wkf| dmr| wvu| yag| uxi| jnj| mka|