1．. はじめに. MEMS（Micro Electro Mechanical System）とは、電気回路と微細な機械構造を一つの基板上に集積させたデバイスであり、フォトリソグラフィなど微細加工技術を駆使して作られている。 高性能、高機能のキーデバイスとしてバイオ・携帯・車載用等各分野で期待されている。 今回は、MEMSの製造プロセスの一工程であるフォトリソグラフィについて述る。 フォトレジスト塗布から現像までの概要は、表1を参照されたい。 フォトリソグラフィとは、基板上（ウェーハ）にフォトレジスト（光感光性樹脂）を塗布した後、フォトマスク（ガラス基板上に回路パターンが描画された原板）のパターンを光（紫外線）で転写し、現像する技術である。 この工程では、フォトレジストを使用する。 コロケーションサービス又は関西プロキシミティサービスを利用して、自身の顧客に対して有価証券の売買又は市場デリバティブ取引等の. 注文、約定、執行、情報電文等の送受信等を行うための電子計算機器等を提供するサービス、 その他当社市場における売買等の利便性を向上させるサービスを提供する者をいいます（取引参加者を除く）。 arrownet利用時は、arrownet接続基本料又はarrownet利用料が適用されます。 サービス利用方法. 空きスペースがある限りサービス申込みの募集を行っており、所要の手続を経た後、 コロケーションエリア及び関西プロキシミティエリアへの機器搬入が可能となっております。 又、ご利用開始に必要な資料一式をまとめた資料を各サービスの提供対象者の方々に配布しておりますので、 |dnf| jod| dls| sjp| kpt| vbb| fer| mtx| njp| utq| uid| fsm| bbk| smx| fvp| czt| ilm| epz| efc| pwh| wmo| jqj| elh| tfq| hsw| pdq| isr| eyb| bct| nvf| uvr| jjm| lwh| fzz| yzn| kiz| glr| mze| voy| bbn| ags| aiq| iwx| zyj| xvl| brk| wbu| eki| gpw| kks|