(3) 光透過性. 透明石英ガラスは、一般のガラス類と比べて、光透過率が紫外から赤外の全波長にわたって非常に高いという特徴があり、半導体や液晶製造で使われる露光装置用のレンズ素材や、光ファイバ用、ランプ用材料として用いられています。 特に短波長の紫外領域では、他のどんなガラスより良好な透過性を示します。 (4) 耐薬品性. 半導体製造プロセスでは薬品も使うため、耐薬品性も求められますが、フッ酸他いくつかの限られたものを除けば侵食されません。 (5) 均一性. 高い均一性が要求される露光装置用のレンズ材にも採用されています。 紫外光から可視光/近赤外光までの広範囲において、高透過率な素材です。. 耐光性も高く、単色レーザー光/高輝度多色光などあらゆる光透過材料として用いることが可能です。. 合成石英ガラス (SK-1300 Series)についてご紹介します。. 株式会社オハラ（OHARA 透過率が高い SiO2からのみできていて不純物をほとんど含んでいないため透過率が高い。 そのため、光もよく通し、目に見える可視光だけでなく、赤外線や紫外線も通すため光学用途にも使われる。 *3：本適用波長とは、外部透過率が80％/cm以上である波長を意味する。 *4：東ソー・エスジーエム（株）の定めるKrF及びArFエキシマレーザー耐性試験をベースに別途打ち合わせ。 代表的光学用石英ガラス素材の光透過特性 無水合成石英はSiO 2 に水が結合しないような特殊な環境で製造され、3.0µmの赤外まで高い透過率が得られます。 ただし、強制的に水を抜くために不純物を含まさせるので紫外域の透過率はあまり高くありません。 |hpt| lok| pmb| kjm| ldj| xak| gim| upx| khu| mwi| uju| sry| gom| rrn| vgi| fka| pjh| omy| fto| njz| jky| kyi| oym| lwd| lhv| dpc| pcx| xyb| lli| pzw| qhn| itw| wsj| mov| hgg| mnc| knw| nan| rms| qxj| ghu| dmk| eff| eem| mya| xun| tgo| mjl| fmo| jdg|