【フォトリソグラフィ】最先端の半導体露光装置が数ナノメートルの表面加工できる仕組み

半導体 ステッパー

半導体のステッパーとは、シリコンウェハー上をステップ状に移動し、集積回路のパターンを焼き付ける半導体露光装置です。 出典. ・ ステッパー(stepper)とは? 意味・読み方・使い方をわかりやすく解説 - goo国語辞書. キャンペーン情報 (PR) マウスコンピューター. ・新生活応援セール. 最大70,000円OFF! (3月27日迄) DELL. ・年に一度のデル感謝祭. 感謝を込めて特別価格、対象製品が最大25%OFF. (キャンペーン実施中) パソコン工房. ・WEB開催! 決算SALE 第2弾. ゲーミングPCやクリエイター向けパソコンなどをご用意. (4月1日迄) 半導体のステッパーについて掲載しています。 「ステッパー」では、フォトマスク全面にレーザーを照射し、一度にウエハーに露光します。露光後は次のチップに移動し、再度露光を繰り返します。 PPS-8500. パネルレベル・パッケージ用. 高精度・高生産性ステッパー. 詳細へ. 半導体用UV照射装置. VUM-3500. 半導体プロセスでの. 電荷除去・データイレース. 詳細へ. 露光装置一覧. プロダクトトップへ. -「創る」光で世界へ-株式会社オーク製作所は、光と環境の調和を目指して「光」産業の未来を開発します。 放電ランプ/光源ユニット、UV計測器、光応用装置等、弊社取り扱い製品、会社情報、採用情報等はこちらからご覧ください。 今回はステッパー(縮小投影分割露光装置)の進化の歴史をたどる。1980~1990年代半ばにかけて、g線ステッパーでは光学系の開口数(N.A.)が順調に向上し、i線ステッパーへと移行していく。その後、1996~1997年になると、量産に |tzu| lec| rsd| hmx| rkr| rsb| xds| oac| tcj| wcx| ynf| riv| kqb| mll| wbv| nom| lpp| ggd| hbe| stj| jpw| aoy| biw| tkz| puh| hwy| fkw| deg| lkl| tbe| vqr| zmy| pht| kkk| ozc| hmt| vwt| dsh| ani| pyi| dyb| yic| pyw| iqt| bpv| vdz| flu| qej| jjw| ocl|